加速器によるグリーンな半導体露光技術の研究開発を促進

Background

政府は、我が国が国際社会において中長期的に確固たる地位を確保し続ける上で不可欠な要素となる先端的な重要技術について、研究開発及びその成果の活用を推進するために「経済安全保障重要技術育成プログラム（通称“K Program”）」を推進しています。

Proposal

さまざまな機器に使われている大規模集積回路（LSI）は微細な回路を描く露光工程で作られますが、現在最先端の露光技術は電力効率が低く、将来のさらなる微細化に向けては大幅な設計変更が必要になるなど課題が多くあります。これに代わる次世代技術として、エネルギー回収型線形加速器（ERL）と自由電子レーザー（FEL）を用いた技術が注目されています。この基礎技術の実証を進めているKEKから提案を行い、“K Program”に採択されました。実用化できれば大幅に消費電力が下がるほか、日本が半導体露光技術で世界的優位性を確保できる可能性があります。

Schedule

本研究開発は2025年4月に始まり、2030年3月末まで茨城県つくば市のKEKつくばキャンパスで実施されます。