第2回EUV-FELワークショップ

 
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開始2017/12/12（火）10:00
終了2017/12/12（火）17:00
会場東京　中央大学駿河台記念館
講演タイトルWEBサイトをご覧ください
講演者
言語その他/Not specified
連絡先研究支援戦略推進部　大学・産業連携推進室 　Tel.029-879-6239
ウェブサイトhttp://pfwww.kek.jp/old/PEARL/EUV-FEL_Workshop2/
食堂・売店／0

概要

極端紫外光(EUV)を用いた半導体LSIの量産が今まさに始まろうとしています。
さらに将来の微細化を見据え、現在の光源技術に代わる加速器技術を用いた新しい自由電子レーザー(FEL)光源の実現が期待されています。
昨年に引き続き第2回目となる本ワークショップでは、国内外の研究者・技術者による最新のEUV露光技術、FEL技術、EUV-FEL光源技術等の講演が行われます。

皆様のご参加をお待ちしております。

詳細は、WEBサイトをご参照ください。

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