令和5年度 第5回技術セミナー「半導体デバイスの動作を可視化するオペランド顕微鏡の開発」

開催日時

2023/12/08 13:30 – 16:00

開催場所

4号館セミナーホール + Zoom

講演者

福本 恵紀 特任准教授(物質構造科学研究所 放射光実験施設 放射光科学第二研究系)

言語

日本語

お問い合わせ

技術セミナー実行委員会 eng-koryu-semi-23@ml.post.kek.jp


概要

 トランジスタや太陽電池などの半導体デバイスは、電荷キャリアである電子と正孔が動くことで動作する。また,その動きは半導体の接合界面に形成される空乏層により制御される。半導体デバイスの動作環境下で、これら、電子、正孔と空乏層の動きを可視化する超短パルスレーザーを励起光源とする光電子顕微鏡の開発を進めている、本講演では、オペランド顕微鏡の計測原理から応用例を紹介する。
 セミナー終了後のアンケートにご協力ください。