“The Last Light Source” “Coherence reduction in accelerator-based lithography systems”
2024年
01/30
開催
開催日時
2024/01/30
開催場所
つくば 管理棟1階 大会議室 + Zoom
講演者
Dr. Erik R. Hosler(CEO of xLight, Inc.)、Dr. Patrick P. Naulleau (CEO of EUV Tech Inc. and LBNL)
言語
English
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お問い合わせ
河田 洋 (PHS 4363)、加藤 龍好 (PHS 4910)、谷川 貴紀 (PHS 4126)