真空ポンプは、ビームパイプ内を超高真空（10兆分の1気圧程度）にするための装置です。SuperKEKBでは、非蒸発型ゲッター（NEG）が主ポンプとして採用されます。NEGには、チタンやジルコニウムといった特殊な金属が入っていて、ビームパイプ内の気体分子をそれらの清浄な表面にくっつけることで真空状態とします。やや高い圧力領域では、補助ポンプとしてスパッターイオンポンプも使用されます。大気圧から中真空領域まで排気するには、オイルフリーのターボ分子ポンプやスクロールポンプを使います。
（「もっと知りたい！SuperKEKB加速器」より）