EUV-FEL workshop

 
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開始2016/12/13（火）10:00
終了2016/12/13（火）17:00
会場秋葉原UDX 4F 「NEXT-1」
講演タイトル加速器科学が拓く革新的イノベーション～半導体LSI製造プロセス用EUV光源をめざして～
講演者山道新太郎氏（日本アイ・ビー・エム（株）、石内秀美氏（（株）先端ナノプロセス基盤開発センター）、宮崎順二氏（エーエスエムエル・ジャパン（株）他
言語日本語/Japanese
連絡先hiroshi.kawata@kek.jp
ウェブサイトhttp://pfwww.kek.jp/old/PEARL/EUV-FEL_Workshop/
食堂・売店利用予定なし／0
2020年42 2019年155 2018年155 2017年217 2016年187 2015年193

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