クリーンルーム

超伝導検出器やSOIピクセル検出器など、最先端の検出器開発をサポートする多目的クリーンルーム

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概要

先端計測実験棟の大実験室内に設置されているクリーンルームは、2007年から建設が始まりました。2008年11月には、シリコンやサファイアのウェハ 上に薄膜を作製するために、スパッター、ドライエッチング装置、蒸着装置などのプロセス装置群が理化学研究所から移設されました。クリーンルームは、クラス10万(150平方メートル)とクラス1万(150平方メートル)の2つの部屋に分けられています。クラス10万の部屋は、大学などの研究者が使用できる共同利用のためのスペースも用意してあり、クラス1万の部屋では、プロセス装置群を使用して超伝導トンネル素子などを製作することができます。特に、宇宙背景放射の偏光観測に使用するアルミ超伝導トンネル素子やMKID素子や遠赤外線エネルギー測定用ハフニウム超伝導トンネル素子などを開発製作しています。さらに、SOIピクセル検出器開発、中性子基礎物理用薄膜開発などにも使用されています。

関連するWebページ

先端計測実験棟・大実験室内クリーンルーム 
http://rd.kek.jp/useful/cleanroom/

関連する研究グループ

測定器開発室SCDグループhttp://rd.kek.jp/lab_02_3.html
測定器開発室SOIグループ http://rd.kek.jp/lab_02_5.html
CMBカメラ開発グループ http://cmb.kek.jp/cmbcamera/
ハフニウムSTJ開発グループ http://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~takemasa/STJ_Web/
KEK CMBグループ http://cmb.kek.jp/
LiteBIRD Working Group http://cmb.kek.jp/litebird/  

関連する研究施設

先端計測実験棟大実験室