第2回EUV-FELワークショップ

  • 分類 国際会議・ワークショップ
  • 開始 2017/12/12(火)10:00
  • 終了 2017/12/12(火)17:00
  • 会場 東京 中央大学駿河台記念館
  • 講演タイトル WEBサイトをご覧ください
  • 講演者
  • 言語 その他/Not specified
  • 連絡先 研究支援戦略推進部 大学・産業連携推進室  Tel.029-879-6239
  • ウェブサイトhttp://pfwww.kek.jp/PEARL/EUV-FEL_Workshop2/
  • 食堂・売店 /0

概要

極端紫外光(EUV)を用いた半導体LSIの量産が今まさに始まろうとしています。
さらに将来の微細化を見据え、現在の光源技術に代わる加速器技術を用いた新しい自由電子レーザー(FEL)光源の実現が期待されています。
昨年に引き続き第2回目となる本ワークショップでは、国内外の研究者・技術者による最新のEUV露光技術、FEL技術、EUV-FEL光源技術等の講演が行われます。

皆様のご参加をお待ちしております。

詳細は、WEBサイトをご参照ください。