EUV-FEL workshop

  • 分類 KEKが主催・共催する研究会など
  • 開始 2016/12/13(火)10:00
  • 終了 2016/12/13(火)17:00
  • 会場 秋葉原UDX 4F 「NEXT-1」
  • 講演タイトル 加速器科学が拓く革新的イノベーション~半導体LSI製造プロセス用EUV光源をめざして~
  • 講演者 山道新太郎氏(日本アイ・ビー・エム(株)、石内秀美氏((株)先端ナノプロセス基盤開発センター)、宮崎順二氏(エーエスエムエル・ジャパン(株)他
  • 言語 日本語/Japanese
  • 連絡先 hiroshi.kawata@kek.jp
  • ウェブサイトhttp://pfwww.kek.jp/PEARL/EUV-FEL_Workshop/
  • 食堂・売店 利用予定なし/0