EUV-FEL workshop

分類KEKが主催・共催する研究会など
開始2016/12/13(火)10:00
終了2016/12/13(火)17:00
会場秋葉原UDX 4F 「NEXT-1」
講演タイトル加速器科学が拓く革新的イノベーション~半導体LSI製造プロセス用EUV光源をめざして~
講演者山道新太郎氏(日本アイ・ビー・エム(株)、石内秀美氏((株)先端ナノプロセス基盤開発センター)、宮崎順二氏(エーエスエムエル・ジャパン(株)他
言語日本語/Japanese
連絡先hiroshi.kawata@kek.jp
ウェブサイトhttp://pfwww.kek.jp/PEARL/EUV-FEL_Workshop/
食堂・売店利用予定なし/0
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