EUV-FEL workshop
| 分類 | KEKが主催・共催する研究会など |
|---|---|
| 開始 | 2016/12/13（火）10:00 |
| 終了 | 2016/12/13（火）17:00 |
| 会場 | 秋葉原UDX 4F 「NEXT-1」 |
| 講演タイトル | 加速器科学が拓く革新的イノベーション～半導体LSI製造プロセス用EUV光源をめざして～ |
| 講演者 | 山道新太郎氏（日本アイ・ビー・エム（株）、石内秀美氏（（株）先端ナノプロセス基盤開発センター）、宮崎順二氏（エーエスエムエル・ジャパン（株）他 |
| 言語 | 日本語/Japanese |
| 連絡先 | hiroshi.kawata@kek.jp |
| ウェブサイト | http://pfwww.kek.jp/PEARL/EUV-FEL_Workshop/ |
| 食堂・売店 | 利用予定なし／0 |
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